近期，泰晶科技一款采用光刻微納米加工技術的小電阻小尺寸微型音叉晶體完成產(chǎn)品設計及實驗驗證，各項性能指標優(yōu)良，正在準備量產(chǎn)階段。該款新產(chǎn)品同樣采用公司成熟的石英MEMS光刻工藝技術，提升了石英晶片的制造精度，使其具備更加優(yōu)異的耐高溫性、抗震性和可靠性。廣泛應用于要求功耗低、時鐘準確度高、進行實時時鐘顯示以及定時處理某些操作的儀表，如電表、水表、氣表，以及高精度RTC等有高精度時間要求的應用場景。

　　經(jīng)測本產(chǎn)品指標滿足：

　　通常情況下，晶振的諧振電阻對晶振的性能和穩(wěn)定性有很大影響。當諧振電阻過大時，可能會導致晶體振蕩的頻率偏離設計值，進而影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性和性能，更嚴重的情況可能會導致晶振停止振蕩，進而使系統(tǒng)失效，所以更低的諧振電阻對提高晶振整體穩(wěn)定性有很大幫助。

　　與普通晶體相比，該產(chǎn)品優(yōu)化了水晶刻蝕工藝，大大減小了產(chǎn)品的諧振電阻值。該產(chǎn)品常溫時諧振電阻平均值小于30 kΩ，寬溫度范圍內電阻最大值小于45 kΩ，而普通晶振常溫時電阻平均值在45 kΩ左右。

　　溫度頻率特性曲線對比圖：

　　kHz光刻產(chǎn)品涉及復雜工藝及多學科，技術門檻高，研發(fā)難度大，工藝壁壘高。未來小尺寸、超高頻MHz產(chǎn)品以及高精度有源產(chǎn)品，光刻工藝是必經(jīng)之路。公司在MHz和kHz相關產(chǎn)品上持續(xù)提升自身研發(fā)創(chuàng)新能力、設計能力及市場配套能力，并逐步形成競爭優(yōu)勢，成為核心電子器件國產(chǎn)化首選品牌，并獲得國際行業(yè)內品質認可，產(chǎn)品品牌知名度及核心競爭優(yōu)勢全面提升。